电容式压力传感器

    电容式加速度传感器

    电容式加速度传感器的主要特点是频率响应快和量程范围大， 大多采用空气或其它气体作阻尼物质。

1、调频电路

    当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化

    特点：0．01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量， 并与计算机通讯。

2、运算放大器式电路

    如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d

    结论：Uo的相位与输入反相,大小和位移呈线性关系

3、二极管双T形交流电桥

4、环形二极管充放电法

5、脉冲宽度调制电路

    Rp：代表极板间的泄漏电阻和涡流损耗。

    Rs：代表引线电阻、电容器支架和极板电阻的损耗。

    L：电感由电容器本身的电感和外部引线电感组成。

    电容的实际相对变化量：

    与传感器的固有电感L的角频率ω有关

    优点：

    ①温度稳定性好

    ②结构简单、适应性强

    ③动态响应好

    ④可以实现非接触测量，具有平均效应点

    缺点：

    ①输出阻抗高，负载能力差

    ②寄生电容影响大

    ③输出特性非线性